微型測力傳感器是至少具有一個亞毫米級物理尺寸的傳感器,橋式電路由一個或多個在受力后會變形的彈性體和一個可以感知該變形的電阻應變儀組成,并且電阻應變儀可以固定并粘貼在彈性體上,微型測力傳感器由三部分組成,可以傳導一些應變的粘合劑和保護電子電路的密封劑。
1.微型測力傳感器的結(jié)構(gòu)
微型測力傳感器的彈性元件,殼體,隔膜,上壓力頭和下壓力墊的設(shè)計要確保結(jié)構(gòu)在加載后沒有性能波動,或者性能波動很小,因此,在設(shè)計微型測力傳感器時,應盡可能確保應變區(qū)具有單一作用力且應力均勻,貼片部分應平整,該結(jié)構(gòu)要對偏心載荷和側(cè)向載荷具有一些抵抗力,安裝力應遠離應變區(qū),并且在測量過程中應避免承載點的移動,盡管微型測力傳感器是組裝產(chǎn)品,但是為了確保良好的技術(shù)性能和長期穩(wěn)定性,應盡可能將其設(shè)計為整體結(jié)構(gòu)。
2彈性元件的金屬材料
彈性元件的金屬材料在微型測力傳感器的綜合性能和長期穩(wěn)定性中起著關(guān)鍵作用,具有較高的強度和限制彈性,良好的時間和彈性模量的溫度穩(wěn)定性,低彈性滯后,并通過機械加工和熱處理產(chǎn)生的殘余應力低的材料應選擇,一些數(shù)據(jù)表明,只要淬火后材料的可塑性良好,其在機加工和熱處理后的殘余應力就很小,還應特別注意彈性模量隨時間的穩(wěn)定性,并且要求材料的彈性模子在微型測力傳感器的使用壽命期間不發(fā)生變化。
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