壓力傳感器的分類:
壓力傳感器是使用較為廣泛的一種傳感器,應用于各種工業(yè)自控環(huán)境,涉及水利水電、鐵路交通、智能建筑、生產自控、航空航天、軍工、石化、油井、電力、船舶、機床、管道等眾多行業(yè)。
常用的壓力傳感器有應變片壓力傳感器、陶瓷壓力傳感器、擴散硅壓力傳感器、藍寶石壓力傳感器、壓電壓力傳感器、通用型IEPE三軸向加速度傳感器。壓力傳感器按用途分類主要是壓力監(jiān)視、壓力測量和壓力控制及轉換成其他量的測量。按供電方式分為壓阻型和壓電型傳感器,前者是被動供電的,需要有外電源。后者是傳感器自身產生電荷,不需要外加電源,根據不同領域對壓力測量的精度不同分為低精度和高精度的壓力傳感器。
傳統(tǒng)的壓力傳感器以機械結構型的器件為主,以彈性元件的形變指示壓力,但這種結構尺寸大、質量重,不能提供電學輸出。隨著半導體技術的發(fā)展,半導體壓力傳感器也應運而生。其特點是體積小、質量輕、準確度高、溫度特性好。
半導體壓電阻型:半導體壓電阻抗擴散壓力傳感器是在薄片表面形成半導體變形壓力,通過外力使薄片變形而產生壓電阻抗效果,從而使阻抗的變化轉換成電信號。
靜電容量型:靜電容量型壓力傳感器,是將玻璃的固定極和硅的可動極相對而形成電容,將通過外力(壓力)使可動極變形所產生的靜電容量的變化轉換成電氣信號。
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