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平涼硅壓阻式MEMS振動傳感器

2023-05-20 15:31:04

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詳細介紹：

硅壓阻式MEMS振動傳感器

MEMS加速度計是MEMS領域較早開始研究的力傳感器之一。經過多年的發(fā)展，MEMS加速度傳感器的設計和加工技術已經日趨成熟。根據(jù)敏感機理不同，MEMS加速度傳感器可以分為壓阻式、熱流式、諧振式和電容式等。壓阻式MEMS加速度傳感器容易受到壓阻材料影響，溫度效應嚴重、靈敏度低，橫向靈敏度大，精度不高。熱流式加速度計受傳熱介質本身的特性限制，器件頻率響應慢、線性度差、容易受外界溫度影響。因此，熱流式和壓阻式加速度計主要用于對精度要求不高的民用領域或軍事領域中的高值測量。諧振式微加速度計理論上可以達到導航級的精度，但目前技術狀態(tài)還達不到實用化。而電容式硅微加速度計由于精度較高、技術成熟、且環(huán)境適應性強，是目前技術較為成熟、應用較為廣泛的MEMS加速度計。隨著MEMS加工能力提升和ASIC電路檢測能力提高，電容式MEMS加速度傳感器的精度也在不斷提升。

MEMS慣性傳感器的研究成果對于物體的制導、導航，各類型交通工具的自動駕駛以及各種智能穿戴設備的應用具有重要意義。