近年來隨著航空、航天等各種工程技術的發(fā)展,越來越多的場合需要取得準確地動態(tài)數據,其中振動、沖擊、壓力、聲強等參數的測量占有重要的地位。各種傳感器、信號適調儀、分析、記錄、處理儀器就是為了滿足這種要求而發(fā)展起來的,其中傳感器是獲得準確、真實數據的一關;將所需測量的物理量轉換為便于測量的物理量是使用傳感器的目的。
在傳感技術的發(fā)展過程中,敏感元件的制作技術起著決定的作用,正是由于各種鐵電材料的研制成功,高質量硅應變敏感元件、電容敏感元件的研制成功,硅片微細加工技術的成功,才使得有可能制成各種質量高的新型壓力傳感器。
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