?？诟哽`敏度、低振級加速度傳感器

近年來隨著航空、航天等各種工程技術(shù)的發(fā)展，越來越多的場合需要取得準確地動態(tài)數(shù)據(jù)，其中振動、沖擊、壓力、聲強等參數(shù)的測量占有重要的地位。各種傳感器、信號適調(diào)儀、分析、記錄、處理儀器就是為了滿足這種要求而發(fā)展起來的，其中傳感器是獲得準確、真實數(shù)據(jù)的一關(guān)；將所需測量的物理量轉(zhuǎn)換為便于測量的物理量是使用傳感器的目的。

在傳感技術(shù)的發(fā)展過程中，敏感元件的制作技術(shù)起著決定的作用，正是由于各種鐵電材料的研制成功，高質(zhì)量硅應變敏感元件、電容敏感元件的研制成功，硅片微細加工技術(shù)的成功，才使得有可能制成各種質(zhì)量高的新型壓力傳感器。